微觀裝置的制造及其處理技術
  • 一種金屬納米顆粒陣列的大面積制備及柔性轉移方法與流程
    本發明涉及納米材料,尤其涉及一種金屬納米顆粒陣列的大面積制備及柔性轉移方法。在納米,納米顆粒因其獨特的電學和光學性質而得到廣泛關注,尤其是大面積均勻有序的納米顆粒陣列結構,在等離子體研究、生物傳感及電化學儲能方面具有重要的研究意義。例如,在表面增強拉曼散射研究方面,靈敏高效...
  • 氮化鋁基板及III族氮化物層疊體的制作方法
    本申請是下述申請的分案申請:發明名稱:氮化鋁基板及iii族氮化物層疊體國際申請日:2013年9月4日國際申請號:pct/jp2013/073806國家申請號:201380041307.x本發明涉及一種新型的氮化鋁基板。具體而言,涉及一種具有氮化鋁單晶層的新型的氮化鋁基板,所述氮化鋁單晶層具有特定的...
  • 曲面納米結構的制備方法與流程
    本發明涉及納米加工,特別是涉及一種曲面納米結構的制備方法。納米結構能夠應用于生物探測器、太陽能器件和光學器件等領域中。為了提高器件或者材料的功能,傳統的二維垂直刻蝕已經不能滿足需求,具有三維曲面納米結構的需求量很大。目前三維納米結構的制備方法主要有兩種:多次套刻和灰度曝光。多次套刻...
  • 一種嵌入多晶硅電阻的雙面自對準刻蝕硅懸臂梁陣列熱電變換器的制作方法
    懸臂梁微機械結構是微電子機械系統(mems)中廣泛使用的結構,本發明屬于懸臂梁微機械系統與微電子新工藝有機結合的研究領域。利用全自對準的集成電路工藝制作硅懸臂梁的同時,在懸臂梁表面制作嵌入式多晶硅應力感應測量電阻。即把半導體自對準刻蝕技術與體硅微機械結構設計相結合研究新型熱電轉換器。目的是對傳統型...
  • 一種柔性水下壓力傳感器及其制備方法與流程
    本發明屬于壓力測量,具體涉及一種柔性水下壓力傳感器及其制備方法。在水下探測活動中,水聲技術是對水下目標進行探測、定位、跟蹤、識別的主要手段,是水下活動的眼睛與耳朵,應用較為廣泛。水聲傳感器能拾取詳細的流場與聲場信息進行處理分析并做出判斷,確定目標的存在、狀態和參數等。高性能的柔性壓...
  • MEMS器件的制作方法
    本公開涉及半導體,更具體地,涉及一種mems器件。隨著微機電系統(micro-electro-mechanicalsystem,mems)技術的發展,利用mems技術制造的加速度傳感器、陀螺儀、角速度傳感器等精度較高的器件已經廣泛地應用到了汽車領域和消費電子的領域中。其中,例如加速...
  • 一種MEMS結構的制作方法
    本實用新型涉及微電子領域,更具體地,涉及mems結構及其制造方法。mems器件是在微電子技術基礎上發展起來的采用微加工工藝制作的微電子機械器件,已經廣泛地用作傳感器和執行器。例如,mems器件可以是壓力傳感器、加速度計、陀螺儀、硅電容麥克風。壓力傳感器例如包括組裝在一起的傳感器芯片和電路芯...
  • 富集器芯片結構的制作方法
    本實用新型屬于微電子機械系統領域,特別是涉及一種富集器芯片結構。富集是一種重要的分析技術。富集器是氣體分析儀器(如氣相色譜儀、離子遷移譜、質譜儀)中的重要部件,常設置于儀器的前端,其主要功能是大量吸附被探測的目標氣體組分,即進行富集,然后使目標氣體組分在極短的時間內脫附,此時目標氣體組分濃...
  • 一種在襯底上制作懸浮紅外熱堆的方法與流程
    本發明屬于硅微機械傳感,特別是涉及一種在襯底上制作懸浮紅外熱堆的方法。隨著mems技術的迅猛發展,基于mems微機械加工技術制作的紅外探測器以其尺寸小、價格低等優勢被廣泛應用于熱電堆紅外探測器現已廣泛應用于非接觸測溫、氣體傳感、安保、衛星姿態控制、紅外成像等領域。熱堆紅外探測器相比...
  • 電熱薄膜層結構及制備方法與流程
    本發明涉及晶圓級物理氣相沉積(pvd)電熱薄膜沉積,特別是涉及一種電熱薄膜層結構及制備方法。目前,在傳統ic芯片的應用中,一般需要避免器件結構出現熱累積,解決器件的散熱問題。然而,在mems器件的一些應用中,反而需要引入發熱結構來實現對器件中一些微觀結構的加熱。此類發熱結構一般使用...
  • 一種MEMS紅外探測器三維封裝結構及其制作方法與流程
    本發明屬于封裝,具體涉及一種mems紅外探測器的封裝結構及其制作方法。近年來,微機電系統(mems)紅外探測器,包括熱電堆、熱輻射測量計,熱釋電探測器和諧振探測器等,由于其體積小,分辨率高,低成本和cmos兼容工藝在軍事和民用領域有著廣泛的應用前景。對于mems紅外探測器,相對落后...
  • MEMS結構、MEMS結構的制作方法及胎壓傳感器與流程
    本發明涉及微機電系統(micro-electro-mechanicalsystem,mems)領域,具體涉及一種mems結構、mems結構的制作方法及胎壓傳感器。mems技術是在半導體技術上發展起來的一項高新技術,可用于制造多種傳感器,與傳統的傳感器相比,mems傳感器可實現批量制造,具有...
  • 一種利用支撐層的微納結構成形制造方法與流程
    本發明涉及微納結構成形,特別是涉及一種利用支撐層的微納結構成形制造方法。近年來,微機電系統在航空航天、環境監控、生物醫學等各個領域都有著廣泛的應用。微機電系統的內部結構一般在微米級至納米級,包括大深徑比微孔等各種復雜形狀微納結構。玻璃材料具有較高折射率、高抗變形性、低膨脹、高成像質...
  • 一種MEMS圓片級真空封裝方法與流程
    本發明涉及mems真空封裝,具體是一種mems圓片級真空封裝方法。微機電系統(micro-electromechanicalsystems,mems)是在微電子技術基礎上發展而來,融合了光刻、刻蝕、成膜、硅微加工等技術制作的高科技電子機械產品,因其體積小、功耗低、集成度好等優勢而成...
  • 一種真空壓力成型制備大面積、高深寬比的柔性微納功能結構的方法及裝置與流程
    所屬:本發明公開了一種真空壓力成型制備大面積、高深寬比的mems工藝制備方法及裝置。屬于微納加工領域。技術背景:傳統納米壓印技術主要有三種:熱塑納米壓印技術、紫外固化壓印技術和微接觸納米壓印技術。納米壓印技術大都是不連續的生產工藝過程,難以進行大規模和大面積的生產。為了克服這些難題,滾軸式...
  • 諧振式差壓傳感器及其制備方法與流程
    本發明涉及mems微傳感器,尤其涉及一種諧振式差壓傳感器及其制備方法。諧振式差壓傳感器是準數字輸出,具有精度高、可靠性好、抗干擾能力強等優勢,能獲得更好的精度和穩定性,廣泛應用于航空航天、工業控制、冶金電力、石油化工、醫療電子、汽車電子等各個領域。諧振式差壓傳感器的結構中一般都有一...
  • 一種直立少層石墨烯-金屬納米粒子復合催化電極的制作方法
    本發明屬于電化學領域,尤其涉及一種具有催化活性的直立少層石墨烯-金屬納米粒子復合催化電極。自2003年直立少層石墨烯被成功制備以來,這種明星材料因其特殊的結構,易于工業化生產和卓越的性能收到人們的關注。這種無需粘結劑直接生長于襯底表面的材料,具有巨大的比表面積和微觀機械強度。根據需要,僅需...
  • 一種MEMS封裝過程中MEMS晶元的鍵合方法與流程
    本發明屬于半導體,具體涉及一種mems封裝過程中mems晶元的鍵合方法。mems(microelectromechanicalsystems),即微機電系統,是集微型機構、微型傳感器、微型執行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統。基于mems技術制...
  • 一種結構色材料及其制備方法與流程
    本發明屬于納米光學,涉及一種結構色材料及其制備方法。隨著納米科學的發展,各種功能性納米材料層出不窮,納米光學晶體以其特殊的光學性質在眾多納米材料中占有很高的地位。傳統的納米光學晶體多采用對一種或多種納米結構單元的有序排布的方式來實現。這種特殊的結構使得傳統的納米光學晶體有著禁帶單色...
  • 一種金屬微納類螺旋結構及其制備方法與流程
    本發明屬于金屬微納結構制備領域,具體涉及一種金屬微納類螺旋結構及其制備方法。納米結構具有獨特的特性,如較大的比表面積,提供了廣泛的工程應用,如電子、光學、生物、熱和流體動力學。它們可以用來縮小許多工程產品的尺寸,因此,迫切需要新的納米制造技術來滿足這一需求。低成本的納米結構需要一種簡單、高...
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